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纳米二次离子探针质谱仪
上海 长宁
2023-06-07
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基本信息
招标单位：
中国科学院上海硅酸盐研究所
公告正文
中国科学院上海硅酸盐研究所2023年6至12月政府采购意向-纳米二次离子探针质谱仪 详细情况
2023年06月07日 13:56
| 纳米二次离子探针质谱仪 | |
| 项目所在采购意向： | 中国科学院上海硅酸盐研究所2023年6至12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 中国科学院上海硅酸盐研究所 |
| 采购项目名称： | 纳米二次离子探针质谱仪 |
| 预算金额： | ***万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100407质谱仪 |
| 采购需求概况 ： | (1)导体材料、高纯半导体、功能陶瓷、人工晶体、涂层等非导体材料中，宽质量范围痕量元素(包含H元素)的高精度分析；(2)材料中原位同位素成像分析；(3)材料中杂质元素及同位素的表面深度分析。 仪器指标：(1)同轴入射纳米级离子束(Cs+/离子源和O2+/O-离子源，光斑小于60nm)；(2)双聚焦离子光学质谱，质量分辨率M/△M=6000时≥55%，M/△M=9000时≥20%；(3) 分析精度：对硅片进行Si同位素比值分析，内部精度优于***‰，外部精度优于***‰。 采购数量：1台 |
| 预计采购时间： | 2023-07 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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